《低温等离子体表面强化技术》高清PDF
作者: 刘爱国著
出版: 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社
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出版时间: 2015.09 (求助前请核对清楚)
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本书内容包括:等离子体与等离子体源,等离子体辅助物理气相沉积,等离子体增强化学气相沉积等。
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