《金刚石薄膜沉积制备工艺与应用》高清PDF
作者:戴达煌,周克崧等编著
出版:北京:冶金工业出版社
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出版时间:2001.06 (求助前请核对清楚)
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本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法;论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素;同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。
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