《薄膜技术与薄膜材料》高清PDF
作者:田民波,李正操编著
出版:北京:清华大学出版社
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出版时间:2011.12 (求助前请核对清楚)
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本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。
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