《微加工导论》高清PDF
作者:(芬兰)SAMIFRANSSILA著;陈迪,刘景全,朱军,程秀兰等译
出版:北京:电子工业出版社
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出版时间:2006.01 (求助前请核对清楚)
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国外电子与通信教材系列:本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。
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