《微细加工技术》高清PDF
作者:刘明,谢常青,王丛舜等编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2004.10 (求助前请核对清楚)
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本书较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、极端远紫外光刻技术等。
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