《集成电路芯片制造实用技术》高清PDF
作者:卢静主编
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2011.08 (求助前请核对清楚)
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本书主要包括硅晶圆制程,氧化工艺,光刻工艺等方面的知识。
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