《碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法》高清PDF
作者:李圣怡等著
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2014.01 (求助前请核对清楚)
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本书重点介绍了我们承担的国家重大基础研究项目(973)的研究成果的一部分。是一部专门针对新一代空间光学碳化硅光学材料加工的专著。内容包括:五种典型碳化硅光学材料如碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVDSiC)、反应烧结碳化硅(RBSiC)以及烧结碳化硅(SSiC)的显微结构与力学行为;碳化硅反射镜磨削、研磨、传统抛光与可控柔体加工的材料去除机理与相关工艺;适用于碳化硅反射镜的高效、?
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