光干涉计量测试技术是以波长为计量单位，是一种公认的高精度计量测试技术。干涉仪输出的是一幅干涉图，借助于数学物理模型，可以将干涉图与多种被测参数相联系，从而实现相关物理参数的测量。薄膜光学常数(折射率、消光系数)和厚度是薄膜设计和制备所必需的重要参数，其受制备工艺的影响不同而不同，因此要制备性能稳定的薄膜器件，提高生产制备的成品率，就必须精确地检测出各种制备工艺下薄膜器件的光学常数和厚度值。在国家国际科技合作计划及省部级科技计划项目的支持下，以高精度的光干涉测试为原理，开展了以多种光干涉测试方法对光学薄膜厚度的测量研究，形成了基于高精度光干涉测试技术的薄膜厚度测量系列方法。

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