《真空镀膜原理与技术》高清PDF
作者:方应翠主编;沈杰,解志强副主编
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2014.03 (求助前请核对清楚)
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《半导体制程设备》高清PDF下载 张劲燕著 2000.11
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本书阐述了真空镀膜的应用,以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程,探讨了薄膜生长的影响因素。全书具体介绍了真空镀膜的各种方法,包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
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