本书分上中下三册，内容包括截止到2014年9月国内出版的半导体材料国家标准、行业标准文本以及SEMI和国外发布的半导体材料标准目录。其中上册为基础、产品和管理标准(65项)，中册为国家方法标准(75项)，下册为行业方法标准(68项)以及SEMI和国外相关标准目录。

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