21世纪高等院校教材:本书主要介绍半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理，工艺和特性的控制等，全书包括：硅和锗的化学制备，区熔提纯，晶体生长，硅、锗晶体中的杂质和缺陷，硅外延生长等11章。

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