《NEMS传感器的研制与应用》高清PDF
作者: 谭苗苗著
出版: 北京:冶金工业出版社
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本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案,并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析;针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构,详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法,以及器件电路结构加工工艺等。
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