《微机电系统设计(MEMS)和原型设计指南》高清PDF
作者: (美)库比著
出版: 北京:国防工业出版社
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出版时间: 2014.11 (求助前请核对清楚)
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在本书中描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。
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