本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍了MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识 ; 重点阐述了MEMS实现工艺, 主要有刻蚀, 表面微加工工艺的基本原理及其常用材料等内容。

📙 相关书籍

  1. 《微特电机及系统 第2版》高清PDF 本书共十一章，主要内容包括伺服电动机与伺服系统、测速发电机、步进电动机、自整角机、旋转变压器、永磁无刷直流电动机、单相交流串励电动机、直线电动机、定子励磁型双凸极无刷电机驱动系统、超声波电动机等。在使用本书时，可根据学时数多少和专业要求，合理取舍。...
  2. 《控制电机及其应用》高清PDF 本书主要阐述常用控制电机的工作原理、结构、运行特性、驱动控制及应用，内容包括传统的直流伺服电动机、交流伺服电动机、测速发电机、自整角机、旋转变压器等。...
  3. 《控制电机 第4版》高清PDF 本书可作电气工程 自动控制和相关专业的本科及研究生教材或教学参考...
  4. 《控制电机及其应用》高清PDF 本书共8章，主要介绍交直流测速发电机、交直流伺服电动机、角位传感电机、步进电动机、永磁无刷直流电动机、开关磁阻电动机、直线电动机、超声波电动机等控制电机的基本原理、结构、特性、应用以及相关的自动控制技术，内容涉及到电学、磁学、力学、电子学、计算机及控制技术等多门学科。在选材、内容安排和内容阐述方面力......
  5. 《电机与电气控制技术》高清PDF 本书主要内容包括直流电动机、异步电动机、同步电动机、控制电机、低压电器、基本电气控制电路、典型机床电气控制电路和位置检测装置等。本书从应用角度出发，突出了基本知识的介绍和基本技能的培养。为了技能型人才培养需要，本书设置有“技能培训”；为了检验课堂教学效果，设置了“想一想，练一练”。本书可作为高校机电......
  6. 《电机与拖动基础》高清PDF 本书为普通高等教育“十二五”规划教材。本书以保证基础知识、降低理论深度、加强工程应用、更新内容体系为编写基本依据，按电机的基本理论和电力拖动系统两大部分进行介绍。全书共9章，内容主要包括磁路、变压器、直流电机、异步电动机的基本理论、同步电机基本理论、控制电机、三相异步电动机的电力拖动、直流电动机的电......
  7. 《电机学》高清PDF 本书共5章。主要介绍直流电机、变压器、三相感应电机和同步电机的基本工作原理、工作特性及其应用等。为加强学生对相关知识点的理解和自学，各章中备有相应的例题，为便于学生学习，在每一节后附有相应的思考题，在每一章后附有本章内容小结和相应的习题。...
  8. 《电机学》高清PDF 本书是教育部普通高等教育“十二五”规划教材，书中以变压器、异步电机、同步电机和直流电机为研究对象，详细阐述了电机的基本原理、结构及运行性质，并对电机试验和电机控制的内容作了一定的介绍，使读者在掌握基本理论知识的基础上，学会试验方法、提高操作技能。书中附有大量例题、习题和实验原理，内容完整、主次分明，......
  9. 《水力发电机组辅助设备》高清PDF 本书阐述了水力发电机组辅助设备及其系统的基本原理，介绍了辅助设备系统的设计与计算方法。全书共分7章。主要内容包括：绪论，水轮机进水阀及常用阀门，油系统，压缩空气系统，技术供水系统，排水系统，水力监测系统等。本书系统地论述了水力发电机组辅助设备与监测装置的工作原理、设备选择计算和自动操作系统的组成，主......
  10. 《电机与拖动基础 第2版》高清PDF 电机与拖动基础（第2版）本书主要讲述电机与电力拖动课程的基本理论和基本知识。全书共9章，内容包括磁路、直流电机、直流电机的电力拖动、变压器、异步电机、三相异步电动机的电力拖动、三相同步电机、驱动与控制用微特电机和电力拖动系统中的电动机选择。简要介绍了“电机与拖动”课程中常用的基本知识和基本定律，着重......

提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。