《聚焦离子束微纳加工技术》高清PDF
作者:顾文琪,马向国,李文萍著
出版:北京:北京工业大学出版社
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出版时间:2006.12 (求助前请核对清楚)
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国家科学技术学术著作出版基金资助:本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
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