《光学投影曝光微纳加工技术》高清PDF
作者:姚汉民,胡松,邢廷文著
出版:北京:北京工业大学出版社
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出版时间:2006.12 (求助前请核对清楚)
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国家科学技术学术著作出版基金资助:本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景,详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。
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