微光学与微电子机械系统（MEMS）相集成创立了一种新的微系统，命名为微光学—微电子—微机械系统（MOEMS）。本书主要介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展，然后对MEMS和微光学以及两种技术组合的发展潜力进行回顾和评述。

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