《表3 不同PLDD掺杂浓度下器件电流下降百分比》
不同的PLDD掺杂浓度下,器件的性能参数列于表3。随着PLDD浓度的升高,器件的饱和电流与漏电流近似成比例增加。过大的漏电流是不可取的,需要对器件性能进行取舍。选择最合适的PLDD掺杂浓度,能在维持饱和电流的情况下降低器件的漏电流。
图表编号 | XD0037906300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.02.20 |
作者 | 吉忠浩、阎大勇、龙世兵、薛景星、徐广伟、肖印长、娄世殊 |
绘制单位 | 中国科学院大学微电子学院、中芯国际集成电路制造有限公司、中国科学院大学微电子学院、中芯国际集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司 |
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