《表3 用于清洁度电镜颗粒分析的设备》

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《清洁度试验室的构建与运行》

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其中，零件清洁度值（2#膜片）是实际零件清洁度数值；检测前空白值（1#膜片）用于验证测试前设备和环境是否符合要求，有没有外界颗粒的带入和影响；检测后空白值（3#膜片）用于验证测试后设备和环境是否符合要求，有没有零件上的颗粒残留到清洗槽内和格栅架子上。