《表3 利用扫描电镜能谱仪分析的硬质点成分》

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《多晶硅锭中硬质点分析及控制研究》

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对图2c中的3个点进行能谱分析，其结果如表3所示。数据显示，点4和点5区域含有相近比例的Si和N，二者的质量分数总和接近90%，含C的质量分数为6%～8%，含O的质量分数都为3.2%，表明该区主要成分是Si3N4，同时含有少量的Si C和Si O。第6个检测点在形貌上和前二者存在明显差异，其主要成分是Si，质量分数超过90%，含C的质量比重为7.4%，含O的质量分数都为1.5%，未检测到N元素的存在，表明该区物质主要物质为Si，其次为Si C，同时含有少量的Si O。