《表2 熔渣的配比:SiO_2-CaO-MnO熔渣氧化精炼除硼提纯多晶硅的研究》

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《SiO_2-CaO-MnO熔渣氧化精炼除硼提纯多晶硅的研究》


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首先将试剂称重(配比见表2),进行研磨,以确保粉末完全混匀;随后将渣剂进行预熔炼处理,即使用电阻炉在1600℃、氩气气氛中熔炼15 min,待渣剂完全熔化之后,将其从炉内取出,空气中冷却;配制渣硅比为2∶1的预熔渣剂与硅料,并放置于内径25 mm、深度50 mm的石墨坩埚中,在1600℃、氩气气氛中精炼处理1h,实验装置见图1。精炼结束后将坩埚取出,在空气中冷却;最后将渣、硅分离,再将硅料进行破碎、研磨、酸浸、清洗、烘干。