《表2 机械性能分析Tab.2 Mechanical property analysis result》

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《反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响》

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图5分别呈现了反应气体流量比R为3:1时，DLC薄膜的加载/卸载曲线图5a及由图5a曲线计算得出的纳米硬度、弹性模量曲线图5b。塑性规定为加/卸载曲线中塑性位移/总位移的值[13]，纳米硬度及弹性模量取薄膜厚度约200 nm处比较平缓的区域进行测量，具体数值列于表2。在塑性方面，DLC薄膜的塑性位移均小于基体，基体塑性好于薄膜，但DLC薄膜有高于基体3倍以上的纳米硬度和远小于基体的摩擦系数，气体流量比对于薄膜弹性模量影响很小。乙炔的流量由20~60 m L/min变化过程中，薄膜的纳米硬度增加，R为3:1达到最大值16.1 GPa，到达80 m L/min时纳米硬度又呈下降趋势。由Raman分析在R=3:1时的ID/IG小于其他流量比，反映出sp3杂化键的含量最多，结构与性质相一致，R=3:1DLC薄膜有最高的纳米硬度。