《表2 不同反馈电阻时,IGBT两端电压和负载两端电压实测波形参数》

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《离子源抑制极电源开关速度优化设计》

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综合电容反馈电路两种参数选择方向的测试结果与分析，在实现较大范围调节IGBT开通速度而又对关断速度影响较小时，应采取的方法是:栅极电阻和反馈电阻取较大值，而反馈电容取较小值，通过改变反馈电阻的大小来调节IGBT开通速度。综合考虑反馈电容选取47 nF，反馈电阻选取3 kΩ测得负载两端波形如图10，电压的上升沿和下降沿时间分别约为40μs和60μs，可以较好的实现抑制极电源与高压电源的上升沿和下降沿相匹配。