《表1 材料特性：非本征F-P腔光纤传感器膜片材料仿真分析》

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《非本征F-P腔光纤传感器膜片材料仿真分析》

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采用的石英玻璃，单晶硅（100）[15]和K9玻璃的材料特性如表1所示。在仿真对比中，采用膜片的厚度均为100μm，检测信号的传感器工作频率在20~300 k Hz[16]。通过膜片仿真的固有频率与膜片半径变化关系如图3所示，灵敏度与膜片半径变化关系如图4所示。