《表1 热温差式流量传感器结构参数》

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《单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器》

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单位:μm

图5是热温差式流量传感器的L1、H、L2和D不同时输出电压和流速仿真结果。从图中可以看出L1越小，H越大，L2越小，D越大，则流量传感器的灵敏度越高。其中相邻沟槽之间的间距在满足自连通条件下，再依据上图中仿真结果对腔体的结构尺寸进行优化。结合Comsol的仿真优化和实际工艺，我们确定了具体的结构参数，如表1所示。