《表1 磁敏元件性能对比》

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《闭环电流检测模块中Z轴TMR传感器的研制》

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固态磁敏元件正越来越多地应用于电流传感器中，其中又以霍尔元件的应用最为广泛。闭环霍尔电流传感器具有制造简单、可靠性高、精度高、动态特性好的优点[1-2]。但是随着测量环境的日益复杂，电能测量设备要求更高的精度及工作温度范围，此时若仍然使用霍尔器件，则需要复杂的电路补偿[3]，在某些场合下，甚至会失效。除了霍尔器件以外，固态磁敏元件还包括:各向异性磁电阻（AMR）器件，巨磁电阻（GMR）器件，和隧道磁电阻（TMR）器件[4]。由于GMR器件的应用较早，科技人员已经开始了利用GMR器件构建电流传感器的研究[5]，其中Fei xie等利用GMR传感器，将闭环传感器的电流精度做到了0.6%[6]。而TMR效应虽然早在1975年就已经得到证实，但近年来才得到广泛关注。表1是各种磁敏元件的对比[7-8]，从表中可看出，TMR效应的传感器在灵敏度和工作温度范围方面，具有较大的优势，若用TMR传感器作为电流传感器模块中的磁敏元件，必将提高电流传感器模块的性能。