《表2 反射镜不同偏摆角Δη时对应的Δθx系数》

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《基于干涉法的反射式光栅旋转角度检测方法》

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由（11）式可知，光栅旋转角Δθx与Δθz在探测器v方向耦合，当Δθx的系数变化时，解算Δθz会引入误差。在校准光栅和反射镜1、2后，测量反射镜2的俯仰角相对于反射镜1变化5″、10″、20″时的光栅旋转角Δθx，将测量值与理论值进行拟合，得到表征光栅旋转角Δθx与衍射光束偏角关系的系数，Δθx的系数及系数变化量ΔCω0、ΔCω如表1所示，其中ΔCω0表示光栅校准时未完全水平引起的系数变化量，ΔCω表示俯仰角变化引起的系数变化量。由表1可知，俯仰角变化引起的Δθz相对解算误差分别为0.30%、0.66%、4.99%。同理，反射镜2偏摆角变化测得的Δθx系数、光栅初始姿态引起的系数变化量ΔCη0、偏摆角变化引起的系数变化量ΔCη如表2所示。由此可得，偏摆角作相同角度变化时，引起的Δθz相对解算误差分别为2.28%、0.16%、3.77%。实验结果表明，在20″内，由反射镜俯仰角和偏摆角变化引起的光栅栅线平行度最大相对测量误差分别可达4.99%、3.77%。