《表1 3J1弹性合金材料属性》

《表1 3J1弹性合金材料属性》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《某型超精密机床液体静压导轨温控设计与仿真方法研究》


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本文研究的超精密机床的坐标伺服驱动选用美国PARKER公司的Trilogy直线电机和TA伺服功放系统。直线电机性能参数如表1。