《表3 性能指标测量结果表》

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《基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计》


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各样品在可见光区的平均透射率数据见表3,为了叙述方便,以下简称透射率。由表3可见,在溅射功率为300W,溅射时间为600s,溅射气压为1.0Pa时,最高透射率为85.5214%。