《表1 所有样品参数：不同银含量的Pd-Ag复合膜微结构光栅光纤氢气传感特性》

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《不同银含量的Pd-Ag复合膜微结构光栅光纤氢气传感特性》

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为了增强钯与光纤表面的结合力，首先在光纤表面溅射一层20nm厚的Ni膜，然后根据需求在光纤侧面共溅射250nm的厚度，为了尽量使得镀膜均匀，在一侧溅射完成后，把所有样品翻转180°，然后继续溅射相同厚度的薄膜．这样可以基本上保证光纤表面镀膜厚度在500nm．根据不同的钯银比例含量调节两个溅射源的功率大小．在实验设计中，共设计了三种不同的钯银比例，分别是Pd∶Ag=6∶1、4∶1、2∶1．最终制备的如表1所示6个传感探头，字母a、b、c代表不同钯银比例，字母s代表螺旋微结构，功率30mW表示加工微结构时设置的飞秒激光功率大小．