《表1 超声振动维氏压痕试验参数》

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《光学玻璃超声振动维氏压痕中位裂纹的实验研究》

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进行压痕实验时，首先进行工件对刀，控制压头沿着Z轴反方向运动，当力信号出现跳动时表示压头和工件表面恰好接触，则停止压头运动，完成对刀；压头在下压过程中保持匀速并在达到指定进给深度后停止进给，在保持10s后卸载，主要实验参数见表1.实验后使用石蜡专用清洗剂清洗工件表面石蜡残余物，之后用去离子水在超声波清洗设备中反复清洗整个工件的上下表面，置于通风无尘处晾干后，利用基恩士VR-3000系列测量激光显微镜测量工件表面微观数据用来分析.