《表1 超声振动刀柄参数》

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《超声振动辅助干式钻削SiC_f/SiC陶瓷基复合材料试验研究》

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建立了图1所示的超声振动加工试验系统。该系统主要由制孔装备、自主研发超声振动加工系统和工件组成。制孔装备由库卡六轴机器人和末端执行器构成。自主研发超声振动加工系统由超声振动刀柄、超声波电源和原边供电装置组成，超声刀柄参数如表1所示。原边供电装置套装在末端执行器主轴前端，超声振动刀柄与主轴接口相连。超声电源为超声刀柄提供电激励，经原边供电装置传输给超声振动刀柄，采用Polytec单点激光测振仪对工具端面振动频率和振幅进行测量，当电源输出功率为40%，工具悬伸长度为25mm时，钎焊金刚石套料钻端面的超声振动频率为26.6kHz，振幅A为5.5μm。被加工工件通过螺钉固定在桁架上。