《表1 离子注入表面改性与等离子体表面改性的区分》

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《“高分子材料表面改性”本科教学的探讨》

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首先，第一部分讲授高分子材料表面的物理改性，这些物理方法的共同点在于其对高分子材料表面的影响都是使高分子材料表面的化学结构、表面形态发生变化，从而使其表面张力增加，润湿性、粘接强度得到加强。物理改性可采用的方法种类特别的多，且各不相同，我们统一思路，都按各工艺的定义或机理、装置、对高分子材料表面的影响、该工艺的优缺点及解决措施来进行讲述，便于前后联系、对比与区分，使学生更易理解和记忆。其中教材中对电晕放电处理、火焰处理、热处理、光处理等技术手段的描述还是比较清晰的，只需要在讲解过程中增加原理和装置的示意图。这一部分的重点与难点在于离子注入表面改性与等离子体表面改性的联系与区分，两者的联系在于两者都是在产生等离子体后，利用等离子体对工件表面起到改性的作用，都广泛应用于集成电路的制作工艺中；两者的区别主要在于如何产生等离子体、如何利用等离子体以及所达到的效果如何，具体如表1所示。