《表1 形成溶液种类对一氧化铌氧化膜电性能的影响》

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《阳极氧化形成工艺对一氧化铌电性能的影响》

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在阳极氧化过程中，采用不同种类的形成溶液得到阳极氧化膜的质量差异很大[6-8]。因此，形成溶液的选择是阳极氧化工艺的关键。借鉴钽粉阳极氧化工艺的研究，分别选用质量分数均为0.10%的磷酸、硝酸、硫酸作为一氧化铌烧结体形成溶液，在形成电压20 V、室温条件下进行一氧化铌阳极体的阳极氧化过程。表1为形成溶液种类对一氧化铌电性能的影响结果。