《表1 仿真算例参数：随机冲击下多相关退化的竞争失效可靠性模型》

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《随机冲击下多相关退化的竞争失效可靠性模型》

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基于微电子机械系统疲劳机制，这些研究中强调的微电子机械系统器件是Sandia开发的微型发动机，其正交静电线性致动器连接到轮毂上的齿轮。齿轮主要失效机理是接触区域的磨损，还使用滑动梁上试验结构来测量不同表面涂层和环境的摩擦系数和磨损形态。其参数如表1所示。