《表1 不同尺寸复合磨粒抛光试验结果统计》

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《化学机械抛光液的研究进展》

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为了更加深入地研究复合材料对抛光效果的影响，Chen等[51-52]研究了不同壳的厚度、核直径对抛光效果的影响，不同尺寸复合磨粒抛光试验结果统计如表1所示。由表1中1、2、3组试验可以看出，当壳厚度一样时，RMS随着核尺寸的增大而增大；由2、4组试验可以看出，当核尺寸一样时，在一定范围内，RMS随着核尺寸的增大而增小。综合2、4、5、6组试验可以得出，核-壳结构复合材料磨粒对抛光效果的影响是由核尺寸和壳厚度共同决定的。此外，Chen等[53-54]使用原子力显微镜（AFM）测试了不同复合材料的弹性模量、杨氏模量等力学性能，从力学角度对上述结论进行了阐述。