《表8 1#工位和2#可靠性评价指标》

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《基于生产运行数据的RH真空精炼装置可靠性分析》

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前面得到了故障间隔服从的分布模型，下面进一步评定常用的可靠性特征量:MTBF、MTTR、和固有可用度A。将以上数据带入式（1）～式（3），可以获得RH真空槽设备的运行可靠性指标，如表8所示。