《表1 全球NEMS传感器技术领域专利申请数量排名前12的单位》

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《基于专利分析的NEMS传感器技术发展现状与趋势》

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通过分析全球NEMS传感器技术专利申请量排名前12的申请单位，如表1所示，可以看出：从专利数量来看，德国罗伯特·博世的专利数量位列第1，日本富士胶片株式会社位列第2，日本精工爱普生公司位列第3，专利数量分别为1539、1183和1107件。从申请国别来看，排名前12的企业中，有6家为日本企业，这说明日本在NEMS传感器技术领域处于领先地位。从申请单位来看，排名前12的单位中有8家企业、2家高校及1家研究所，这说明NEMS传感器技术的研究处于以企业为主导，高校及研究所为辅的发展现状。