《表7 平板等离子体光源检出限 (氩气10L/min)》

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《等离子体光谱光源技术的研究进展》

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同Ar-ICP光源相比，射频电容耦合等离子体光源在低功率低氩气流量就能形成稳定等离子体，这是明显优点，但要具有较强原子化及激发能力和较好检出限还需要较高射频功率和一定的氩气流量，但其氩气用量低于标准Fassel炬管，在能够节省些氩气用量。第二，从表7可见，千瓦级平板等离子体光源的检出限与通用ICP光源基本相同，第三，千瓦级平板等离子体光源显示出较强的激发和电离能力，非金属元素（硫、磷、硅）有较好检出限，表7所选用的分析线多为该元素的较短波长分析线，表明光源有良好的激发能力。