《表2 喷涂工艺参数Tab.2 Spraying parameters》

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《喷雾干燥法制备PS-PVD用8YSZ纳米团聚粉末》

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PS-PVD喷枪型号为O3CP，喷枪口径为12.5 mm。沉积流程如下:将清洁完毕的样品基体放置在夹具上，设置机械手运行程序，通过真空泵把喷涂真空罐抽至150 Pa，然后回充氩气至4000 Pa后进行点火。PS-PVD沉积涂层的具体工艺参数如表2所示。