《表3 织构后铜表面元素平均含量Tab.3 Average content of elements on copper surface after texturing》

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《激光织构工艺对铜表面红外激光吸收率的影响》

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3) 织构表面氧化物的生成。织构后，发现铜表面生成了黑色物质，经过SEM和EDS测试，其结果如表3所示，表层O含量平均高达11.5%。皮秒激光对铜的烧蚀过程中，熔池中的铜原子容易与空气中的氧原子结合，因此织构处理后，在铜表面生成黑色的Cu O。Cu O是一种p型窄禁带宽度的半导体材料，在红外激光作用下自由载流子浓度增大，因此对红外激光具有良好的吸收率[15]。但是Cu O在高温下不稳定，对铜制件进行红外激光加工时，织构后铜表面的氧化铜在高温下发生分解，如公式（1）。因此，在提高铜表面红外激光吸收率的工艺过程中，仍然是铜表面的织构起主导作用。