《表6 脉冲激光去除涂漆过程中在涂漆表面的脉冲数》
在脉冲激光烧蚀气化涂漆过程中,为避免烟尘及等离子体对涂漆吸收脉冲激光的影响,在后续的优化实验中加入高压气体。为了避免作用于涂漆表面的脉冲激光数超过涂漆被全部烧蚀气化去除所需的脉冲数,造成脉冲能量浪费,或对基材造成破坏,根据图10所示的结果,将作用于材料表面最高总脉冲数设定为约106个,其他工序脉冲总数依次递减,去除涂漆的优化实验方案如表5所示,作用于涂漆表面的脉冲数如表6所示。根据表5所示的工艺实验方案,进行涂漆烧蚀气化去除实验,结果如图12所示。图13所示为工艺调整后不同数量激光脉冲作用于涂漆表面时涂漆烧蚀气化深度的测量结果。图14所示为工艺调整后作用于涂漆表面不同脉冲数与涂漆被烧蚀气化深度之间的线性拟合结果,线性拟合的相关系数为0.995。
图表编号 | XD0035128200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.01.10 |
作者 | 张志研、王奕博、梁浩、赵树森、林学春、李新阳 |
绘制单位 | 中国科学院光电技术研究所自适应光学重点实验室、中国科学院半导体研究所全固态光源实验室、中国科学院大学、中国科学院半导体研究所全固态光源实验室、中国科学院半导体研究所全固态光源实验室、中国科学院半导体研究所全固态光源实验室、中国科学院半导体研究所全固态光源实验室、中国科学院光电技术研究所自适应光学重点实验室 |
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