《表1 集成电路工业尾水水质指标》

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《集成电路工业尾水深度处理中试研究》

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注:除pH外，其他指标单位均为mg/L。

该集成电路工业尾水中有机物浓度低，氨氮、硝态氮和总氮浓度高，BOD5/COD低于0.3，碳氮比（C/N）低于1.3，属于难生物降解废水。现应用生态-A/O生物接触氧化复合系统处理该工业尾水，建设1套20 t/d的中试反应系统，进水水质指标见表1。