《表1 曝光值对测量精度的影响》

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《基于ATOS的异形件逆向方法研究》

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使用ATOS扫描过程中发现改变设置参数也会对测量精度产生影响。根据控制变量法的思想，保持测量头与被测件的相对距离、位置、角度均不发生改变，仅改变曝光值，在曝光值不同的情况下进行多次扫描，得到结果如表1所示。