《表1 几种常见增透材料的性能[6]Tab.1 Properties of some common anti-reflection materials[6]》

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《金刚石上不同晶体结构Y_2O_3膜性质与增透性能研究》

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Note:H—very hard，M—medium

根据以上条件，目前国内外研究的增透材料，比较常见的有氮化铝（AlN）薄膜和一些过渡族金属氧化物薄膜，如氧化镱（Yb2O3）、氧化铪（HfO2）、氧化锆（ZrO2）和氧化钇（Y2O3）等。表1[6]是几种增透材料的性能比较。相比而言，氧化钇具有相对较低的折射率，且硬度相对较高，因此成为一种金刚石常用的光学增透材料。不同学者对Y2O3薄膜对金刚石材料的光学增透以及其自身高温稳定性等性能进行了研究，获得了良好的增透效果与高温抗氧化性[9-11]。笔者课题组在研究过程中发现，Y2O3薄膜的晶体结构对其性能有较大影响，目前尚未见到关于晶体结构对其增透性能影响的报道。因此本文通过工艺控制，制备了两种晶体结构不同的Y2O3薄膜。对其成分组成、晶体结构、表面形貌、力学性能进行了系统分析，进一步研究了晶体结构对金刚石膜增透性能的影响规律，为金刚石光学窗口的应用提供了理论储备。