《表6 Ta去除速率方差分析表》

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《基于正交实验法的Cu/Ta/TEOS碱性抛光液的优化》

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采用极差分析法对正交实验结果进行分析。结果表明，各个因素对Cu去除速率影响的主次关系是:C>A>B>D，最佳的实验组合方案是A3B3C3D1；各个因素对Ta去除速率影响的主次关系是:A>B>C>D，最佳的实验组合方案是A3B2C2D3；各个因素对TEOS去除速率影响的主次关系是:A>D>B>C，最佳的实验组合方案是A3B1C2D3。三种材料去除速率的最佳水平组合并不一致，其中磨料质量分数A对三种材料去除速率的影响是一致的。为了综合三种材料去除速率的水平组合，需要对每个因素对三种材料去除速率的影响进行方差分析（ANOVA）。方差分析时，根据实验结果，找出有显著作用的因素，以及找出在怎样的因素水平下使指标最优以达到优质和高产的目的[17]。表5、表6和表7为三种材料去除速率的方差分析表，表中F是显著性差异的水平，P是检验水平。