《表1 主要设备列表：同位素电磁分离实验平台真空控制系统设计》

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《同位素电磁分离实验平台真空控制系统设计》

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同位素电磁分离科研实验平台的真空系统主要由预抽真空系统、主抽真空系统和辅助真空系统组成，其中预抽真空系统主要由预抽泵、罗茨泵、预抽阀等组成；主抽真空系统主要由扩散泵、增压泵、扩散泵阀等组成；辅助真空系统主要由前级泵、前级阀等组成。真空系统原理图如图1所示，表1为主要设备列表。