《表1 高/低分辨率PIC各层结构Tab.1 Each layout structure of high/low-resolution PIC》
提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
2) 优化设计了干涉仪的基线，采用多层结构设计，使波导之间不存在交叉。低分辨率PIC包含5层结构，高分辨率PIC在第二层中加入接触式光刻扇入封装层以适应长基线设计，见表1。
| 图表编号 | XD0024896900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.10.01 |
| 作者 | 余恭敏、晋利兵、周峰、童锡良、陈世平 |
| 绘制单位 | 北京空间机电研究所、北京空间机电研究所、北京空间机电研究所、北京空间机电研究所、中国空间技术研究院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
