《表1 湿法腐蚀的腐蚀情况表》

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《二氧化硅阶梯状薄膜热阻层微纳制备工艺研究》

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被腐蚀的厚度即为高度差ΔT，在实验中，将厚度为6μm，粗糙度为40 nm、280 nm的样片分别放入腐蚀液中80 s、90 s，取出烘干后，通过台阶仪测量台阶的厚度，得到的数据如表1所示，台阶横截面如图4所示。