《表1 矩形靶模型各部件的材料与参数》

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《基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析》

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基于Comsol的磁场模拟包括以下几个步骤:定义物理场、磁场、无电流、稳态；建立三维模型，为方便网格划分、优化计算结果，在永磁体上方增加小空气域，各部件材料和参数见表1；设定边界条件，内边界设为磁通量守恒，外边界设为磁绝缘；划分网格，按自定义网格划分，划分结果如图3所示；求解计算，后处理。后处理得到矩形靶中截面处的磁力线分布图和靶材表面磁通密度水平分量云图，如图4、图5所示。图中模型均无磁轭，磁铁高度为10 mm，外磁铁直径为10 mm，内磁铁直径为16 mm。矩形溅射靶简化模型的结构参数如图6所示。